מאָדעל קיין .: 3000 ליטער נישט-ראַסטיק שטאָל אינדוסטריעל גאַז צילינדער
טאַנק באַנד: 150 ל-3,000 ל אָפּציאָנעל
אָנווענדלעך מיטל: SiH2CI2 SiHCI3 CIF3 HF WF3 BCI3, אאז"וו
אַפּערייטינג טעמפּעראַטורע: -קסנומקס ~ קסנומקס℃
טאַנק מאַטעריאַל: סקסנומקס
מאַקסימום אַפּערייטינג דרוק: 2.2/-0.103MPa @65℃
דערווייַז דרוק: קסנומקסמפּאַ
העליום ליק דעטעקציע ראטע: ≤1X10-9 פּאַ.מ³/ס
פּאָלירינג גראַד: EP, ראַ≤0.07-0.25ום
וואַלוו טיפּ: מאַנואַל און פּנעוומאַטיש רעכט ווינקל דיאַפראַם וואַלוו
וואַלוו צובינד טיפּ: 1, DISS636/CGA636 (אויסגאַנג פֿאַרבינדונג)
2, 3/4-14NGT /W28 14T.PI (אינטער-פארבינדונג)
אַדאַפּטירט ווענטיל: ראָטאַרעקס קאָהדאַ נעריקי ערמעטאָ
טראָק אָנפרעג