ምንም ሞዴል .: 3000 ሊትር የማይዝግ ብረት የኢንዱስትሪ ጋዝ ሲሊንደር
የውሃ ማጠራቀሚያ 150L-3,000L አማራጭ
የሚተገበር መካከለኛ፡ SiH2CI2 SiHCI3 CIF3 HF WF3 BCI3፣ ወዘተ
የአየር ሙቀት መጠን: -NUMNUMX ~ 40℃
የታንክ ቁሳቁስ፡ S31603
ከፍተኛ የሥራ ጫና; 2.2/-0.103MPa @65℃
የግፊት ማረጋገጫ; 3.3MPa
የሄሊየም መፍሰስ መጠን; ≤1X10-9 ፓ.ም³/ሰ
የማጥራት ደረጃ፡ EP, Ra≤0.07-0.25um
የቫልቭ ዓይነት: በእጅ እና በአየር ግፊት የቀኝ አንግል ዲያፍራም ቫልቭ
የቫልቭ በይነገጽ አይነት፡- 1, DISS636/CGA636 (የመውጫ ግንኙነት)
2፣ 3/4-14NGT/W28 14T.PI (ኢንተር-ግንኙነት)
የተስተካከለ ቫልቭ; ሮታሬክስ ኮህዳ ኔሪኪ ኤርሜቶ
የጭነት መኪና ጥያቄ